CS330質量流量控制器是七星華創流量計新研發的數字型產品，*高流量可達200SLM氮氣，并可實現數字/模擬控制模式；產品采用了新型全金屬密封結構形式、大流量、低壓損電磁調節閥、以及先進的人工智能機器人金屬表面拋光技術，可用于測量各種氣體的流量，包括惰性氣體、強腐蝕性氣體、易燃易爆等危險性氣體。產品具備精度高、響應速度快、低零漂、低溫漂性能等優點，并支持DeviceNet，RS485通訊協議。
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CS330產品是七星華創流量計新研發的數字型產品，*高流量可達200SLM氮氣，并可實現數字/模擬控制模式；產品采用了新型全金屬密封結構形式、大流量、低壓損電磁調節閥、以及先進的人工智能機器人金屬表面拋光技術，可用于測量各種氣體的流量，包括惰性氣體、強腐蝕性氣體、易燃易爆等危險性氣體。產品具備精度高、響應速度快、低零漂、低溫漂性能等優點，并支持DeviceNet，RS485通訊協議。
優勢
• 新型的金屬密封結構形式。該密封結構形式具有密封可靠、裝配工藝簡單、耐腐蝕等優勢，廣泛適用于各類氣體流量的測量。• 體積小、零漂小、抗干擾能力強的傳感器。該傳感器采用上、下游對稱性結構設計，從而保證了傳感器的零漂小;傳感器內部設有保溫棉，極大程度降低了環境溫度對傳感器的影響，從而提高了傳感器的抗干擾能力，確保了氣體流量檢測的精度。• 先進的人工智能機器人表面拋光技術。CS330系列產品金屬表面粗糙度可達0.1RA，嚴格按照SEMI標準生產制造。• CS330系列產品支持±8V~±16V雙電源或者+14V~+28V單電源供電;支持數字，模擬輸入輸出。• CS330系列產品支持多種電氣接口，包括DB9、DB15、DeviceNet(側部、頂部);支持RS485，DeviceNet通訊方式。
CS330質量流量控制器技術參數
CS330C、D
型號
閥類型
常閉
無
流量規格(N2)
(100,200) SLM
準確度
±1.0% S.P. (＞35% F.S.) ±0.35% F.S. (≤35% F.S.)
線性
±0.5% F.S.
重復精度
±0.2% F.S.
響應時間
≤ 1 sec
工作壓差范圍
100 ~ 300 KPa （50＜F≤100SLM）200 ~ 300 KPa （100＜F≤200SLM）
溫度系數
零點: ≤±0.02% F.S./℃；調節時：≤±0.1% F.S./℃
大工作壓差
1 MPa
耐壓
3 MPa (435pisg)
漏率
5 x 10-12 Pa·m3/ sec He （5 x 10-11 atm.cc/sec He）
密封材料
金屬
工作環境溫度
（0～50）℃
輸入信號
數字: RS485或 DeviceNetTM模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA
輸出信號
數字:RS485或 DeviceNetTM模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA
零漂
在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源
±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28VDC (單極)
表面化學成分
常態
標準接頭形式
VCR 1/2´´
電源接頭形式
D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet 接頭
重量
2.6 Kg
1.5 Kg
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