CS200H質量流量控制器是七星流量計生產的數字型高溫產品，其電氣和機械部分采用分體式的設計，通過高溫線纜連接，可以實現在高溫環境下工作，能夠滿足復雜多變的半導體測量需求。
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優勢
• 控制器工作溫度：90~120℃。• 高控制精度：產品精度可達±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。• 快速響應，響應時間≤ 0.8sec。• 采用恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。• 產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，嚴格按照SEMI標準生產制造。• 支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。• 產品尺寸符合通用的SEMI標準，RS485，DeviceNet通訊方式。
CS200H質量流量控制器技術參數
CS200
型號
CS200-H
閥類型
常閉
無
流量規格(N2)
(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準確度
±1.0% S.P. (≥35% F.S.)±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性
±0.5% F.S.
重復精度
±0.2% F.S.
響應時間
≤ 1sec
工作壓差范圍
0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM0.1～0.35MPa 流量規格＞10SLM
＜0.02 MPa
大工作壓力
0.45MPa
溫度系數
零點: ≤±0.1% F.S./℃；調節時: ≤±0.1% F.S./℃
耐壓強度
3MPa
漏率
1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料
金屬密封
工作環境溫度
質量流量控制器/流量計:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃
輸入信號
數字: RS485 或 DeviceNet模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA
輸出信號
數字:RS485或 DeviceNet 模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA
零漂
在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源
±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學成分
Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃）
表面粗糙度
10 Ra
標準接頭形式
雙卡套φ6；雙卡套1/4；VCR1/4陽接頭；1.5´´C型密封接頭1.5´´ W型密封接頭
電源接頭形式
D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭
連接高溫電纜
2m
重量
1.2Kg
1Kg
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