CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統。
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CS300氣體質量流量控制器優勢：
• 準確度采用設定點精度，產品精度可達±1.0% S.P.，響應時間*快≤ 0.5sec。• CS300系列產品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產品工作的穩定性和準確性。• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。• 產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產品金屬表面粗糙度更可達5RA以下，嚴格按照SEMI標準生產制造。
技術參數
CS300
型號
CS310C
CS320C
CS310D
CS320D
閥類型
常開或常閉
無
流量規格(N2)
(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準確度
線性
±0.5% F.S.
重復精度
±0.2% F.S.
響應時間
≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
工作壓差范圍
0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM0.15～0.35MPa 流量規格＞10SLM
＜0.02 MPa
溫度系數
零點：≤±0.02% F.S./℃；調節時：≤±0.05% F.S./℃
耐壓
3.5 MPa
漏率
1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料
金屬密封
大工作壓力
0.45MPa
工作環境溫度
（0～50）℃
輸入信號
數字：RS485 或 DeviceNet模擬：(0～5)VDC
輸出信號
數字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC
零漂
在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源
±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極)
表面化學成分
Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）
-
表面粗糙度
Ra 5μinch
標準接頭形式
VCR1/4陽接頭；1.125″C型密封接頭1.125″W型密封接頭
1.5″B型密封接頭1.5″C型密封接頭1.5″W型密封接頭
電源接頭形式
D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭
重量
1 Kg
0.8Kg
1.2Kg
1Kg
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