CS200C數字式氣體質量流量控制器采用先進傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產品*快可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產生的系統誤差小化，所需流量更加精準。
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CS200C數字式氣體質量流量控制器，采用先進傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產品*快可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產生的系統誤差小化，所需流量更加精準。
優勢
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。
• CS200C產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，CS200D產品金屬表面粗糙度可達25RA。
• CS200產品嚴格按照SEMI標準生產制造，尺寸符合通用的SEMI標準。
• CS200系列產品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。
• 產品支持RS485，DeviceNet通訊方式。
• 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。
CS200C數字式氣體質量流量控制器技術參數
CS200
型號
CS200-A
CS200-C
CS200-D
閥類型
常開(流量規格 ≤ 30SLM)或常閉
無
常開或常閉
流量規格(N2)
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準確度
±1.0% S.P. (≥35% F.S.)±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性
±0.5% F.S.
重復精度
±0.2% F.S.
響應時間
≤ 1sec
≤ 0.8sec
工作壓差范圍
0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM0.1～0.35MPa 10＜流量規格≤30SLM0.2～0.45MPa 30＜流量規格≤50SLM
＜0.02 MPa
0.05～0.35MPa流量規格≤10SLM0.1～0.35MPa流量規格＞10SLM
大工作壓力
0.45MPa
溫度系數
零點： ≤±0.05% F.S./℃；調節時： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規格≤30SLM調節時： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規格＞30SLM
零點： ≤±0.02% F.S./℃；調節時： ≤±0.05% F.S./℃
耐壓強度
3MPa
漏率
1×10-10 Pa·m3 / sec He
1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料
氟橡膠
金屬密封
工作環境溫度
（5～45）℃
（0～50）℃
輸入信號
數字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
數字： RS485或DeviceNet或 ProfiBus模擬：(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA
輸出信號
數字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂
在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源
±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學成分
常態
Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）
表面粗糙度
25 Ra
10 Ra
標準接頭形式
雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3；雙卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭；φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;
雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽接頭；1.5´´C 型密封接頭;1.5´´ W型密封接頭
電源接頭形式
D 型 9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭
重量
1 Kg
0.8Kg
1.2Kg
1Kg
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